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绪论

Mitchell Hsing在麻省理工学院读商榷生时，他和同学们愚弄芯片行业淘汰下来的迷惑，从事着一些前沿商榷。他其时就念念，要是每个东谈主皆能领有我方的袖珍晶圆厂，用来快速制造原型或小批量坐褥芯片，那该有多棒啊！于是，他创立了InchFab——一家销售售价500万至1500万好意思元的集装箱大小洁净室系统的初创公司。这套系统险些不错完成整个不太先进的晶圆厂能作念的事情。InchFab之是以能如斯紧凑，是因为它使用的硅晶圆比如今价值数十亿好意思元的晶圆厂使用的要小得多。更小的晶圆意味着晶圆厂的迷惑不错作念得更小、更低廉。如今，InchFab的客户遍布环球，尤其是在那些推断新建晶圆厂之前，需要培训芯片制造东谈主才的地区。

Q：InchFab 的创意源自那边？

Mitchell Hsing：这履行上源于咱们我方在麻省理工学院制造芯顷刻碰到的问题。麻省理工学院不错说是宇宙上进行微加工联系商榷的最好机构之一，但咱们其时还在使用上世纪80年代的迷惑，这些迷惑致使需要软盘能力初始。

Inchfab的出生履行上恰是源于这种挫败感。其时我在Martin Schmitdt的团队里，咱们正在商榷如何裁减微加工的准初学槛。

处理决策是减轻现存芯片处理迷惑的尺寸。这么一来，迷惑的价钱也不错相应裁减。我和我的荟萃首创东谈主商榷了当一个大型的传统等离子真空室（比如一个50加仑的油桶大小）减轻到一个一升装汽水瓶大小的安设时，物理和化学旨趣睬发生若何的变化。

Q：您策画的迷惑所要加工的晶圆尺寸有多小？

Mitchell Hsing：神志率先的名字叫“一英寸晶圆厂”。这不单是是个代号，背后是有原因的：步进光刻机（一种常见的光刻用具）的视场简短是一英寸乘一英寸。但咱们意志到一英寸晶圆存在好多问题。起头，这种晶圆买不到，必须我方切割，而切割本人就有好多问题。是以咱们很快就把尺寸扩大到两英寸，当今咱们仍是达到了四英寸（约100毫米）。

Q：当处理尺寸小得多的基底时，物理旨趣是否有所不同？

Mitchell Hsing：主要分辩在于等离子切割用具，而决定这些变化的并非基材本人，而是等离子切割腔的尺寸。在等离子切割迷惑中，有一种叫作念护套的结构。它本色上是一层沿着腔壁的等离子体，不错保护机器免受自身损坏。护套的厚度与腔体的名义积成正比。当腔体尺寸减轻时，名义积相对于体积的影响就愈加显赫。

Q：减轻范围后，有什么事情本人变得更容易了吗？

Mitchell Hsing：有些事情比较容易——比如后端所需的迷惑，像真空泵、质地流量适度器、阀门等等。适度较小的体积也更容易。

Q：与浅近晶圆厂比较，InchFab 能作念什么，不成作念什么？

Mitchell Hsing：咱们的晶圆厂领有与宇宙上任何其他晶圆厂换取的工艺智商，包括光刻、计量、干法刻蚀、等离子体增强化学气相千里积、原子层千里积和湿法工艺。基本上，你能念念到的工艺，咱们可能皆有。

咱们的主要收尾在于光刻时刻，包括特征尺寸和速率。特征尺寸与速率成正比，而速率对于坐褥制造至关遑急。在一定的坐褥范围下，咱们不错使用光刻时刻结束半微米的特征尺寸。咱们致使不错作念到更小的，达到几十纳米。但是，正规投注平台官网写入速率会慢好多，因为这需要用到电子束光刻或压印光刻时刻。

Q：几年前你第一次跟我拿起这个念念法时，我并不笃信它能结束。率先东谈主们对这项推断有哪些反馈？你对那些反对者有什么呈报？

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Mitchell Hsing：是啊，咱们如故会碰到反对的声息。主要的反对见解是咱们需要使用大尺寸晶圆。他们的论点是：“要是我使用更大的晶圆，我就不错在每片晶圆上制造更多东西。这么一来，每个芯片的价钱就会下跌。” 要是你能把一座每月坐褥1万片晶圆的工场填满，那么这个论点就开发。

但咱们仍是讲授，这种说法并不开发。你需要凭据主义市集的需求来选拔合适的晶圆尺寸和晶圆厂产能。最终决定芯片价钱的是晶圆厂的本钱恶果和产能愚弄率。这两者必须匹配，而不是晶圆尺寸。这是咱们七年来一直坚执的。好多时候，咱们（使用更小的晶圆）在价钱上不错与如今的8英寸晶圆代工场相比好意思。

Q：在这种情况下，什么样的客户能力具备价钱竞争力？

Mitchell Hsing：这要视情况而定，但总的来说，咱们目下作事的最大市集是工业、传感、生物医学、航空航天和国防。咱们目下也在拓展其他范畴，举例化合物半导体以及与之联系的多样居品和工艺，比如功率和高频射频应用。此外，咱们还在暖热量子和光子范畴。任何需要定制工艺经过或居品产量本人就不高的应用皆荒谬稳妥咱们。

对于咱们晶圆厂的用途，我再补充少量。目下，咱们业务的很大一部分是东谈主才培养。如今，险些全宇宙皆但愿领有某种面容的原土半导体制造智商。而要结束这少量，莫得比建造像InchFab这么的晶圆厂更好、更经济的方式了。好多国度皆在尝试建造大型的8英寸或12英寸晶圆厂，这需要五年时刻能力建成。但要是建造InchFab，他们不错在五年内启动坐褥。更遑急的是，一朝晶圆厂建成，他们就需要试验有素的职工来运营。因此，咱们为晶圆厂提供培训课程。这些课程以我也曾在麻省理工学院学习的课程为原本，但我策画的课程让学员疏忽亲身退换整个配方，让他们我方去犯错。这才是学习的真理。

Q：你觉得五年后 InchFab 会发展成什么时势？

Mitchell Hsing：咱们真的念念作念的，是让制造时刻民主化——裁减准初学槛，让每个东谈主皆能参与制造，或者至少能参与其中。我觉得，目下收尾微不雅范畴改变的，是东谈主们获取微加工智商的道路。我敢保证，要是东谈主们领有这些智商，他们就能念念出一些已往从未有东谈主念念过的办法。

（来源：IEEE）

*免责声明：本文由作家原创。著作内容系作家个东谈主不雅点，半导体行业不雅察转载仅为了传达一种不同的不雅点，不代表半导体行业不雅察对该不雅点赞同或扶植，要是有任何异议，迎接议论半导体行业不雅察。

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